Frontend- und Backendprozesse, Mikrotechische Fertigungsschritte, Lithographie, Dünnfilmtechnologien, Ätztechniken, Medizinische Anwendungen, Laborprojekt: Fertigung und Vermessung eines Mikrosystems
- Dozent/in: Martin Pliete
Innovative Werkstoffe (z.B. PDMS, Ferrofluide, Keramiken, Metalle);
innovative Verfahren (z.B. ESCARGOT, 3D-Druck, Self Assembling Monolayers, Mikrosandstrahlen, Nanoimprint, Elektrowetting);
Laborprojekt: Entwicklung neuer Strukturen und Verfahren, Projektmanagement
- Dozent/in: Mareike Freundlieb
- Dozent/in: Martin Pliete
Wahlpflichtschwerpunkt im Master-Studiengang "Mikrotechnik und Medizintechnik"
Technologie von Batterien und Akkumulatoren (Elektrochemische Energiespeicher)
- Dozent/in: Hans-Joachim Lilienhof
Die Studierenden kennen Grundlagen verschiedener Herstellungsprozesse der Mikrofluidik und können projektbezogen fluidische Systeme entwickeln
- Dozent/in: Vanessa Hünten
- Dozent/in: Mareike Freundlieb
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Martin Pliete
Downloadmöglichkeit der Chemievorlesungsskripte und Chemiepraktikumsskripte. Um die Unterlagen ansehen und runterladen zu können, melden Sie sich bitte im Kurs an.
- Das Chemiepraktikum startet am 15.11.17.
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
- Dozent/in: Irina Zyuzin
Pflichtveranstaltung 2. Semester Master

- Dozent/in: Vanessa Hünten
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
Der Termin für den Start der Veranstaltung im WS 2020/21 wird noch bekannt gegeben.
Die Veranstaltung Halbleitertechnologie findet im Wintersemester statt und umfaßt Vorlesung mit integrierter Übung und Praktikum.
Das Passwort wird in der Veranstaltung bekannt gegeben.
Zum Praktikum:
Das Praktikum beginnt nicht direkt in de ersten Woche, sondern wenn etwas Theorie behandelt wurde. Der Termin der Sicherheitseinweisung und der Besprechung des Praktikums wird in einer der ersten Vorlesungsstunden bekannt gegeben.
Dieser Starttermin ist sinnvoll, da zu Anfang des Semesters Sie die Laborprozesse noch nicht kennen können, weil die Vorlesung noch nicht hinreichend fortgeschritten ist. Im Praktikum werden Sie Temperatursensoren herstellen. Wenn Sie ihre Sensoren hergestellt und charakterisiert haben, und einige weitere Versuche mit Ihren Strukturen durchgeführt haben, ist das Praktikum beendet. Das kann je nach Arbeitsgruppe zu einem unterschiedlichem Zeitpunkt sein, je nachdem, wie gut es Ihnen gelingt.
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
Microsystem Engineering
Pflichtveranstaltung Master 3.Semester / Studiengang Mikrotechnik
Die Veranstaltung beginnt am Donnerstag 29. Okt. 2020 zur im Stundenplan ausgewiesenen Zeit / Ort in Präsenz (ggf. hybrid). Details finden Sie in diesem Moodle-Kurs.
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
Die Unterlagen zur MST-Vorlesung und zum MST-Praktikum werden HIER abgelegt. Das Password wird Ihnen in der ersten Veranstaltung bekannt gegeben. WS 2020/21: Kurs ist für Selbsteinschreibung geöffnet. Bitte tragen Sie sich unbedingt hier als Kurshörer ein, nur dann bekommen Sie auch Mitteilungen bei Terminänderungen etc.
Die Veranstaltung beginnt am Mitttwoch 28.Okt. 2020 zur im Stundenplan ausgewiesenen Zeit / Ort in
Präsenz (ggf. hybrid). Details finden Sie in diesem Moodle-Kurs.
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
Vorkenntnisse erforderlich: Schwerpunkt Labortechniken oder Kenntnisse in Vakuumtechnik.
Ablauf als Projekt, Präsenztag: Donnerstag bzw. Mittwoch
- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
Hier finden Sie die Laborordnung, Verhaltensregeln für den Reinraum, Links zu den Sicherheitsdatenblättern etc. . Diese Informationen gelten global für alle Reinraumveranstaltungen, insbesondere für die Praktika Halbleitertechnologie und Mikrosystemtechnik.
Das Zugangspasswort wird in den Praktikumsvorbesprechungen bekannt gegeben, kann aber auch beim Laborleiter erfragt werden.
Anmeldung für diesen Kurs ist Pflicht für alle Studierenden und Mitarbeiter, die in den Laboren der Mikrotechnik tätig sein wollen.
Das gilt selbstverständlich auch für die Teilnehmer an Laborpraktika (HLT, MST, MSE, Wahlmodule, ...)
Ob Sie sich für diesen Kurs angemeldet haben, können wir sehr einfach prüfen.

- Dozent/in: Martin Pliete
- Dozent/in: Michael Schlüter
- Dozent/in: Irina Zyuzin