Einführung in die Grundlagen der Vakuumdünnschichttechnologie, der physikalisch-chemischen Grundlagen, Verfahrenstechnik, Metrologie und Anwendungen.
Semester: WiSe 2025/26
Oberflächenchemie und Oberflächenanalytik (ESCA etc.)
Semester: WiSe 2025/26