Vakuum-Dünnschicht-Technologie

Einführung in die Grundlagen der Vakuumdünnschichttechnologie, der physikalisch-chemischen Grundlagen, Verfahrenstechnik, Metrologie und Anwendungen.

Oberflächenchemie und -analytik

Oberflächenchemie und Oberflächenanalytik (ESCA etc.)